ເຄື່ອງຫມູນໃຊ້ສູນຍາກາດແມ່ນໃຊ້ເພື່ອເຄື່ອນຍ້າຍ ຫຼືຕັ້ງ wafer ຫຼືລາຍການຕ່າງໆຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດພິເສດ ແລະສໍາລັບການນໍາໃຊ້ການຈັດການວັດສະດຸ. ພວກເຂົາເຈົ້າສະຫນອງຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເພີ່ມຂຶ້ນຍ້ອນວ່າການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ເຄັ່ງຄັດບໍ່ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້. ເຄື່ອງໝູນໃຊ້ສູນຍາກາດບາງອັນປະກອບມີອຸປະກອນຍຶດຕິດ ຫຼື ເຄື່ອງມືສິ້ນສຸດ. ອື່ນໆລວມມີ locks ໂຫຼດແລະໄມ້ wobble. ເລື້ອຍໆ, ເຄື່ອງຫມູນໃຊ້ສູນຍາກາດແມ່ນໃຊ້ຮ່ວມກັບຫ້ອງສູນຍາກາດ. ຕົວຈັດການ wafer ຫຼືຫຸ່ນຍົນແມ່ນປະເພດອັດຕະໂນມັດຂອງການຈັດການສູນຍາກາດສໍາລັບການເຄື່ອນຍ້າຍ wafers ຫຼື substrates ເຂົ້າໄປໃນຫຼືອອກຈາກ PVD, CVD, etching plasma ຫຼືຫ້ອງປະມວນຜົນສູນຍາກາດອື່ນໆ. ເພື່ອສ້າງຫ້ອງສູນຍາກາດ, ມໍເຕີສູນຍາກາດຫຼືມໍເຕີໃນສູນຍາກາດຈະສູບອາກາດອອກຈາກເຮືອຈົນກ່ວາຄວາມດັນຍ່ອຍຂອງບັນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການ. ຖ້າຫ້ອງສູນຍາກາດປະກອບດ້ວຍສູນຍາກາດທີ່ສູງທີ່ສຸດ, ຫຼັງຈາກນັ້ນຕ້ອງໃຊ້ເຄື່ອງຫມູນໃຊ້ສູນຍາກາດສູງສຸດແລະມໍເຕີສູນຍາກາດສູງທີ່ສຸດ.
1. ການອອກແບບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ sucker ສາມາດເຮັດໃຫ້ວັດຖຸເພີ່ມຂຶ້ນຫຼືຫຼຸດລົງຕາມຄວາມຕັ້ງໃຈ, ແຕ່ຍັງ rotate ໃນທິດທາງໃດຫນຶ່ງຂອງບ່ອນນັ່ງຄົງທີ່ຂອງ sucker ເພື່ອເຮັດໃຫ້ການດໍາເນີນງານສະດວກແລະຖືກຕ້ອງ. ການອອກແບບການຄວບຄຸມຫ່າງໄກສອກຫຼີກນໍາເອົາຄວາມສະດວກໃນການດໍາເນີນງານແລະຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພຂອງຜູ້ໃຊ້.
2. clamp ຂອງເຄື່ອງດູດສູນຍາກາດຮັບຮອງເອົາແຜ່ນ suction ນໍາເຂົ້າ, ມີຜົນບັງຄັບໃຊ້ adsorption ທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມປອດໄພສູງແລະການປົກປ້ອງຜະລິດຕະພັນຈາກຄວາມເສຍຫາຍ.
3. ເຄນສູນຍາກາດສາມາດບັນທຸກສິ່ງຂອງທີ່ອ່ອນເພຍ, ຍາກທີ່ຈະຍົກ, ແລະຫນ້າດິນລຽບເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນກໍາລັງແຮງງານແລະປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງວິສາຫະກິດ.